CYS-E电子级光谱浓度仪

产品概述：

CYS-E电子级光谱浓度仪系列产品采用分体式设计，主要由浓度传感器和多功能主机组成，采用光谱连续扫描方式，通过传感器采集介质的光谱图像，多功能主机内置建模、分析、显示和信号输出等功能，适用于泛半导体行业湿电子化学品的浓度检测。

传感器采用超纯PFA/PTFE流通池结构结合大面积蓝宝石光学棱镜，通过长期技术积累和攻关研发，解决了半导体行业湿电子化学品浓度在线测控类产品的“卡脖子”问题。

产品特点：

高精度，SEMI G5级，耐高温，长寿命光源，光强自动调节。

应用领域：

氧化工艺：硫酸/双氧水、氢氟酸、氢氧化铵/双氧水/水、异丙醇等浓度分析；

蚀刻工艺：氢氟酸/甲氧基甲醇、氢氟酸、硝酸、硫酸、氟化铵、盐酸、乙酸、磷酸等浓度分析；

剥离工艺：抗蚀剂剥离液、聚合物去除化学溶液、低浓度氢氟酸/稀硫酸/过氧化氢、低浓度氢氟酸/盐酸/氨水等浓度分析；

镀铜及平整化工艺：低浓度硫酸、双氧水，低浓度氢氟酸中的溶解氧、稀硫酸/过氧化氢、盐酸/氨水等浓度分析。